MEMS器件高温工作试验

MEMS器件高温工作试验

中科检测可靠性实验中心具备各种MEMS器件的可靠性综合环境试验能力,为MEMS器件提供专业的高温工作试验等服务。
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MEMS器件高温工作试验试验背景

MEMS器件高温工作试验可在器件带电工作的情况下确定MEMS器件在高温下工作的可靠性,试验对象主要为高集成设备中在高环境温度下工作的MEMS器件。
中科检测可靠性实验中心具备各种MEMS器件的可靠性综合环境试验能力,为MEMS器件提供专业的高温工作试验等服务。

MEMS器件高温工作试验试验范围

1、MEMS传感器:加速度传感器、陀螺仪传感器、压力传感器、惯性组合传感器、声学传感器、气体传感器、温度传感器、温度传感器、光学传感器、MEMS射频器件、微型热辐射传感器、磁传感器。
2、MEMS执行器:DMD数字微镜器件、喷墨打印头、生物芯片、射频MEMS、微结构、微型扬声器、超声波指纹识别等。

MEMS器件高温工作试验试验方法

1、待测器件加电置于试验箱内,配套的驱动电路板或测试板应在试验温度下稳定工作。
2、若无其他规定,试验时间应不小于72 h。宜采用最低试验温度为±105℃。
3、试验前将待测器件取出,自然散热2 h~48 h至室温,最长应不超过96 h,然后在标准试验条件中进行测试。

MEMS器件高温工作试验试验标准

GB/T 38341-2019 微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
GB/T 26111 微机电系统(MEMS)技术 术语
GB 2423.1电工电子产品基本环境试验规程 试验A:低温试验方法
GB 2423.2电工电子产品基本环境试验规程 试验B:高温试验方法
GB 2423.3电工电子产品基本环境试验规程 试验Ca:恒定湿热试验方法
GB 2423.5电工电子产品基本环境规程 试验Ea:冲击试验方法
GB 2423.6电工电子产品基本环境试验规程 试验Eb:碰撞试验方法
GB 2423.10电工电子产品基本环境试验规程 试验Fc:振动(正弦)试验方法

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