膜厚度检测

膜厚度检测

中科检测可提供膜厚度检测服务,出具的膜厚度检测报告具有CMA资质。
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膜厚度检测介绍

膜层厚度是指基体上的金属或非金属覆盖层的厚度,例如PCB板工艺中的Cu/Ni/Au层,合金上的Ni/Cr覆盖层,塑料件上的金属膜层,金属上的油漆涂层等等。
漆膜涂层会对基材具有保护以及装饰作用,由于涂层厚度不一,其保护性能也会有很大区别。
中科检测可提供膜厚度检测服务,出具的膜厚度检测报告具有CMA资质。

膜厚度检测方法

1、金相测膜厚度
被测样品需要经垂直于待测膜层取样进行金相制样,再在金相显微镜下观察并拍照测量待测膜层厚度。适用于测量厚度>1μm的金属膜层,可同时测量多层。
2、SEM测膜厚度
样品前处理与金相测厚相同,配有能谱附件(EDS)的SEM设备可以确定每一层膜层的成分。此方法测试范围宽,适用于测量厚度0.01μm~1mm的金属或非金属膜层。
3、荧光测厚度
使用XRF测厚仪测量,测量前需知道样品的镀膜工艺信息(如基材材料、膜层材料及顺序);此方法适用于测量厚度>0.01μm的金属膜层,可同时测量多层。
4、XPS深度剖析
XPS设备可以测试样品极表面的元素成分(每次测量的信息深度为5nm左右),并且可以在样品室内直接对样品表面进行溅射,可以去除指定厚度(纳米级)的表层物质,这两个功能结合使用就可以测量出纳米级膜层的厚度;此方法适用于测量纳米级厚度的膜层。
5、台阶测厚方法
台阶仪测厚,对厚度的测量范围较宽,0.1μm到10μm均能检测;但对样品的要求很高,膜层与基材之间必须有台阶,且表面光滑。

膜厚度检测标准

GB/T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法
GB/T 37361-2019 漆膜厚度的测定 超声波测厚仪法
GB/T 13452.2-2008 色漆和清漆 漆膜厚度的测定
GB/T 8014-2005 铝及铝合金阳极氧化 氧化膜厚度的测量方法
CB/T 3718-2016 船舶涂装膜厚检测要求
SJ/T 10171.1-1991 碱性蓄电池隔膜性能测试方法 隔膜厚度的测定
YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
SH/T 0105-1992 溶剂稀释型防锈油油膜厚度测定法
JB/T 7707-1995 离子镀硬膜厚度试验方法球磨法


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